English Website沿革
| 1955年 |
東京都台東区長町1番地に株式会社榛名商行を設立
工業用各種パッキングの加工販売
日本バルカー工業㈱の特約代理店
フッ素製品の日本総代理店であった岸本産業㈱と提携しKEL-Fレジン KEL-Fエラストマ-の研究及び国内販売活動開始
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| 1956年 |
KEL-F会のメンバ-である東邦化成㈱設立に伴い、資本及び業務提携し、フッ素樹脂加工品の製造ならびに販売体制を整える
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| 1960年 |
㈱金陽社と提携し、フッ素ゴム「パーフロン®」の商品名で半導体製造プロセスで好評。一方、原子力関係にパーフロンCXが採用される
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| 1961年 |
フッ素樹脂加工による、電磁弁、流量計及びバルブ等が半導体工場のガス制御にて高い評価を得る
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| 1965年 |
ポーラス硬質クロムメッキ面へのフッ素樹脂含浸研究が完成
特殊圧縮機などへの新用途を開く(特許製品)
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| 1967年 |
日本原子力研究所に納入したイオン交換塔等が好評
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| 1973年 |
拡散前処理用ウエハー洗浄装置の自動化製品を出し業界の先鞭をつける
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| 1974年 |
純水用電磁弁及びエアーバルブの商品化
純水の節約の功により、ユーザーより賞を得る
「パーフロン®CX」が動力炉燃料開発事業団の再認定を受ける
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| 1975年 |
光ファイバー用CVD装置の開発
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| 1978年 |
社名を株式会社ハルナに変更し、半導体製造用機器専門メーカーとして各部門の充実を計る
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| 1979年 |
終点機能をもった減圧自動アルミエッチング装置の商品化(特許製品)
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| 1989年 |
高温薬液循環用配管材料としての、バルブ・ポンプの各種継手をそろえ販売開始
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| 1990年 |
NTTより技術移転を受け、レジストシリル化装置の販売開始
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| 1995年 |
水戸に組み立て工場のクリーンルーム完成
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| 1999年 |
洗浄装置部門より撤退し業務を部品専門に集約する新体制に移行する
従来装置の保守等は別会社にてサポート
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| 2000年 |
グリスレスコックを主としたホームページを開設
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| 2002年 |
関連会社の協力を得て鉛フリー対応はんだ槽部門の販売開始
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| 2003年 |
はんだ付け向上ユニット製品FSC(特許申請中)の販売開始
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| 2008年 |
ホームページデザイン全面リニューアル
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