株式会社ハルナ　ペンケム®ＴＸ

特長

• 最高２６０℃まで使用できます。
• フッ素樹脂ＴＦＥ製は化学的に不活性のため、流体を汚しにくい。
• 波形部の形状は液溜りが少ない、ヘリカル（螺旋状）です。
• 長尺品も対応可能です。
• 波形部を加工することにより使用目的に応じた長さが長さが作れます。

主な用途

• ■半導体製造装置
  • コータ・デベロッパ
  • ＣＭＰ
  • 洗浄機
  • エッチング装置
• ■液晶製造装置
• ■合成石英製造装置
  • 光ファイバー素材
  • ヒータ管
  • マスク
  • 反応槽
  • るつぼ
• ■ＭＡ機器
• ■計測機器
• ■理化学機器

主な使い方

• ■省スペースな機器内配管
• ■純粋・薬液配管
• ■ドレン
• ■ガス配管
• ■熱交換器
• ■振動部及び可動部の配管
• ■ハンドシャワー
• ■二重配管
• ■コンジット管

規格

参考

※表の数値は、標準値を示しています。
※ペンケム®はペンニットー株式会社が販売するフッ素樹脂波形チューブの登録商標です。